微弧氧化制备BaTiO3介电薄膜的电解液体系优化

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2014.07.038

金属热处理 ›› 2014, Vol. 39 ›› Issue (7): 162-165.DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2014.07.038

微弧氧化制备BaTiO₃介电薄膜的电解液体系优化

广东技术师范学院机电学院; 平高集团有限公司; 华南理工大学材料科学与工程学院

出版日期:2014-07-25 发布日期:2014-07-31
基金资助:
广东省自然科学基金（S2013010015211）; 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（2012ZZ0011）

Optimization of electrolytic system for BaTiO₃ dielectric films prepared by micro-arc oxidation

College of Mechanical Engineering, Guangdong Polytechnic Normal University; Pinggao Group Company Limited; School of Material Science and Engineering, South China University

Online:2014-07-25 Published:2014-07-31

摘要/Abstract

摘要： 用正交试验法对BaTiO₃薄膜微弧氧化电解液体系进行优化，并对最优电解液体系下所得薄膜的物相组成，元素分布情况、表面形貌及介电性能进行了表征。结果表明，最优电解液体系为0.5 mol/L Ba(OH)₂ +0.1 g纳米TiO₂+0.05 g乙二醇+0.2 g甘油；最优电解液体系下所得薄膜主要由四方相BaTiO₃和极少量BaCO₃组成，且薄膜表面平整、孔洞分布均匀、孔径细小，其在100 Hz下的介电常数为245.3。

关键词: 电解液, 微弧氧化, BaTiO₃, 介电薄膜

Key words: electrolyte solution, micro arc oxidation, barium titanate (BaTiO₃), dielectric films

中图分类号:

TM22⁺3

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