工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2019.01.035

金属热处理

工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响

1.辽宁科技大学表面工程研究所；2. 辽宁荣信兴业电力技术有限公司

出版日期:2019-01-25 发布日期:2020-04-03
基金资助:
国家自然科学基金(51672119,51502126)；辽宁科技大学重点实验室开放课题(USTLKFSY201705)；辽宁省自然科学基金(20180550802)；

Effect of deposition pressure on microstructure and mechanical properties of pulse-PECVD prepared DLC films

Online:2019-01-25 Published:2020-04-03

摘要/Abstract

摘要： 采用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法(Pulse-PECVD)于316L不锈钢基体上制备类金刚石(DLC)薄膜,研究不同工作气压对DLC薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结构、纳米硬度、弹性模量以及结合强度的影响规律。结果表明:随沉积气压增大,薄膜的沉积速率随之增大,压强在3 Pa时沉积速率可高达1. 4μm/h;不同气压下沉积的DLC薄膜均体现出平整光滑的表面形貌和高于不锈钢基体3倍以上的纳米硬度;沉积气压为2 Pa时,DLC薄膜在拉曼光谱中具有最小的ID/IG值,对应最高的纳米硬度16. 1 GPa和弹性模量152. 7 GPa,以及最低的粗糙度和摩擦因数0. 206。

Key words: pulsed plasma-enhanced chemical vapor deposition(pulse-PECVD), DLC film, deposition pressure, Raman spectra, mechanical properties

中图分类号:

TB741
TB34

李瑞武1，周艳文1，李建伟1，范　巍2，郭媛媛1，吴法宇1. 工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响[J]. 金属热处理, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2019.01.035.

Li Ruiwu, Zhou Yanwen, Li Jianwei, Fan Wei, Guo Yuanyuan, Wu Fayu. Effect of deposition pressure on microstructure and mechanical properties of pulse-PECVD prepared DLC films[J]. HTM, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2019.01.035.

[1]	侯雅青, 张宇, 于明光, 王静静, 杨丽, 苏航. Q&P钢残留奥氏体含量的热动力学计算[J]. 金属热处理, 2022, 47(1): 25-31.
[2]	孟晓越, 林万明, 宁安刚, 马荣泽, 张志伟. 热轧+淬火配分处理对Q235钢组织及性能的影响[J]. 金属热处理, 2021, 46(11): 71-77.
[3]	陈梦园, 刘卓, 吴润, 吴腾. 配分时间对Q&P钢组织及性能的影响[J]. 金属热处理, 2020, 45(9): 62-65.
[4]	王凯, 吴志方, 吴润, 李明伟. I&Q&P工艺对高硼铁基耐磨合金组织和性能的影响[J]. 金属热处理, 2020, 45(7): 1-6.
[5]	田亚强, 曹仲乾, 潘红波, 宋进英, 郑小平, 陈连生. 两相区温度对中锰钢IQ&P处理后组织和力学性能的影响[J]. 金属热处理, 2020, 45(7): 37-41.
[6]	李明伟, 吴润, 王凯, 曾松盛. Q&P工艺对Fe-0.45C-1.6B高硼钢组织和性能的影响[J]. 金属热处理, 2020, 45(5): 84-89.
[7]	王亚婷, 万德成, 冯树明, 李杰. 淬火温度对中锰QP钢组织和性能的影响[J]. 金属热处理, 2020, 45(5): 172-175.
[8]	周　云，张　宇，陈　刚 . C-Si-Mn系焊丝钢的连续冷却相变及轧制工艺[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 35-39.
[9]	马治军1，刘　亿2，吴斌斌2，林建平2. 深冷处理对Cr7V钢高温耐磨性与位错密度的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 40-44.
[10]	赵英利，嵇　爽，张雲飞，张　坤，白丽娟. 节镍型高氮奥氏体不锈钢固溶处理加热过程中的组织演变[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 45-48.
[11]	张　俊1，徐增勇1，张太超2，贾广辉1，罗　斌3. 热处理对新能源汽车用稀土储氢合金电化学性能的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 49-53.
[12]	张永皞，李敬民，李昌安. 热处理对G50超高强度钢力学性能的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 54-56.
[13]	米丰亮，张兆伟，康鸿胜，菅宝柱，吕宇鹏，李建祖. 两相区控制冷却及正火对非调质钢C38+N组织和性能的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 67-71.
[14]	马　李，何录菊. 时效及冷热循环对Al₂O₃增强2A12铝合金尺寸稳定性的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 72-77.
[15]	赵安安，胡生双. 深冷处理对T10A钢力学性能和耐磨性能的影响[J]. 金属热处理, 2019, 44(1): 78-80.

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