基片温度对真空蒸镀铝薄膜组织及附着力的影响

张倩, 李继高

Effect of substrate temperature on microstructure and adhesion of vacuum vapor-deposited Al films

Zhang Qian, Li Jigao

金属热处理 . 2025, (6): 294 -296 . DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2025.06.045